光刻材料中阴离子的测定
光刻工艺是半导体制造中最为重要的工艺步骤之一。主要作用是将掩膜板上的图形复制到硅片上，为下一步进行刻蚀或者离子注入工序做好准备。光刻的成本约为整个硅片制造工艺的 1/3，耗费时间约占整个硅片工艺的 40～60%。一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、检测等工序。光刻胶是一种经过严格设计的复杂、精密的配方产品，由树脂、光引发剂、单体、添加剂等不同性质的原料，通过不同的排列组合，经过复杂、精密的加工工艺而制成。目前集成电路的集成水平已由原来的微米级水平进入纳米级水平，为了匹配集成电路的发展水平，制备超净高纯试剂的纯度也由 SEMI G1 逐渐提升到 SEMI G4 级水平，对杂质的检验能力要求也相应提高。
（1）阴离子
分析柱：SH-G-1+SH-AC-11
流动相：15 mM KOH（EG）
流速：1.0 mL/min
柱温：35℃
抑制器：SHY-A-6
进样体积：100 μL
前处理：称取 2 g 样品于 50 mL 样品管中，加入 10 mL 去离子水，于 60℃水浴 1 h，取出冷却至室温，提取液过 0.22 μm 一次性针头过滤器后进样分析。
色谱测量数据
PC 中阴离子谱图
色谱测量数据
PP 中阴离子谱图
色谱测量数据
ABS 中阴离子谱图
（2）阳离子
分析柱：SH-G-1+SH-CC-3L
流动相：6 mM MSA（EG）
流速：1.0 mL/min
柱温：35℃
抑制器：SHY-A-6
进样体积：100 μL
前处理：称取 2 g 样品于 50 mL 样品管中，加入 10 mL 去离子水，于 60℃水浴 1 h，取出冷却至室温，提取液过 0.22 μm 一次性针头过滤器后进样分析。
色谱测量数据
PC 中阴离子谱图
色谱测量数据
PP 中阴离子谱图
色谱测量数据
ABS 中阴离子谱图
Related Products
查看详情 
查看详情
查看详情
查看详情
related news
在现代化学分析领域，高效液相色谱系统以其独特的优势，成为了一种不可或缺的重要工具。该系统通过高效分离和精确检测，为化学研究、药物开发、环境监测等领域提供了强大的技术支持。
离子色谱是分析阴阳离子的液相色谱方法之一，检测便捷快速，灵敏度也比较高，能够同时测定多种成分。目前beat365亚洲体育在线官网的离子色谱仪已广泛适用于环保、水文地质、化工、食品、卫生防疫等众多领域，在检测工作中发挥着重要作用。那么为避免错误维护与操作导致仪器不能正常使用，影响监测数据的真实有效性，小编整理了一些离子色谱仪的日常使用说明，一起来看看吧!
6月15日，青岛农业大学分析测试中心主任徐坤、副主任王倩文、高级工程师周远明以及博士陈贵兰一行到访beat365·(中国区)有限公司官网，共同探讨校企合作议题。
改革开放以来，各行各业如雨后春笋般拔节生长。这个特殊的、充满干劲与奋斗的历史时期被很多优秀影视作品记录，《大江大河》也是其中之一。 最近，《大江大河之岁月如歌》全网热播，讲述了上世纪九十年代，宋运辉（王凯 饰）、杨巡（董子
全国免费服务热线:
总部地址:
销售邮箱:
